[发明专利]一种镨离子掺杂的二氧化铪铁电薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种镨离子掺杂的二氧化铪铁电薄膜的制备方法，包括以下步骤：将乙酰丙酮铪和乙酸混合，加热搅拌至澄清，继而冷却至室温获得第一溶液。依次在第一溶液中加入硝酸镨(III)六水合物，乙酰丙酮溶液，继而加热搅拌至澄清获得第二溶液。将第二溶液滴加到铂衬底上进行N次旋涂处理操作后，再执行退火操作获得镨离子掺杂的二氧化铪铁电薄膜，其中,N为大于等于1的正整数。通过实施本发明实施例，能在不使用手套箱等其他大型设备的情况下制备出镨掺杂二氧化铪铁电薄膜，制备工艺简单、设备成本低、易于规模化生产。

主权项

1.一种镨离子掺杂的二氧化铪铁电薄膜的制备方法，其特征在于，包括：将乙酰丙酮铪和乙酸混合，加热搅拌至澄清，继而冷却至室温获得第一溶液；依次在所述第一溶液中加入硝酸镨(III)六水合物，乙酰丙酮溶液，继而加热搅拌至澄清获得第二溶液；将所述第二溶液滴加到铂衬底上进行N次旋涂处理操作后，再执行退火操作获得所述镨离子掺杂的二氧化铪铁电薄膜；其中,N为大于等于1的正整数。