[发明专利]半导体瞬态X射线非线性光学效应测试装置及其测试方法

摘要

本发明公开了一种半导体瞬态X射线非线性光学效应测试装置及其测试方法，包括用于产生X射线的X射线源，其可照射到待测试的半导体材料片上，使其产生非线性光学效应；用于引入一束探针光照射到所述半导体材料片的延时模块，并在该半导体材料片表面被反射，延时模块能够对该探针光的传输光程进行调节；用于对延时模块引入的探针光进行分光的分光片，用于接收经半导体材料片反射的探针光的光谱仪A，用于接收经分光片透射的探针光的光谱仪B，通过对光谱仪A光谱仪B最终所测的光谱进行差分对比分析即可完成测试。可以快速灵敏的完成半导体材料非线性光学效应的测试，且具有较高的测试效率和测试精度，为后续试验提供参数依据，便于操作实施。

主权项

1.一种半导体瞬态X射线非线性光学效应测试装置，其特征在于，包括：X射线源(9)，其用于产生X射线，并照射到待测试的半导体材料片(4)上，使其产生非线性光学效应；延时模块(1)，其用于引入一束探针光照射到所述半导体材料片(4)上，并在该半导体材料片(4)表面被反射，所述延时模块(1)能够对该探针光的传输光程进行调节；分光片(3)，其用于对延时模块(1)引入的探针光进行分光；光谱仪A(5)，其用于接收经半导体材料片(4)反射的探针光；光谱仪B(8)，其用于接收经分光片(3)透射的探针光。