[发明专利]照明光学系统、曝光装置以及物品制造方法有效
| 申请号： | 201810814945.5 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN109307988B | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 大阪升 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 程晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及照明光学系统、曝光装置以及物品制造方法。照明光学系统具有：对来自光源的光束进行整形的第1光学系统、第2光学系统；光学积分器；以及光学系统，将来自第1光学系统的光束和来自第2光学系统的光束引导到光学积分器的入射面，第1光学系统具有变更由第1光学系统在光学积分器的入射面形成的第1光强度分布的光学部件，第2光学系统具有变更由第2光学系统在光学积分器的入射面形成的第2光强度分布的光学部件，利用第1光学系统以及第2光学系统使第1光强度分布和第2光强度分布相互不同而形成光学积分器的入射面处的光强度分布。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 光学系统 曝光 装置 以及 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种照明光学系统，对物体进行照明，其特征在于，具有：第1光学系统，对来自光源的光束进行整形；第2光学系统，对来自光源的光束进行整形；光学积分器；以及光学系统，将来自所述第1光学系统的光束和来自所述第2光学系统的光束引导到所述光学积分器的入射面，所述第1光学系统具有变更由所述第1光学系统在所述光学积分器的入射面形成的第1光强度分布的光学部件，所述第2光学系统具有变更由所述第2光学系统在所述光学积分器的入射面形成的第2光强度分布的光学部件，利用所述第1光学系统以及所述第2光学系统使所述第1光强度分布和所述第2光强度分布相互不同而形成所述光学积分器的入射面处的光强度分布，用来自所述光学积分器的光对所述物体进行照明。
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