[发明专利]多种气体同时测量TDLAS对齐系统有效
申请号: | 201810815609.2 | 申请日: | 2018-07-16 |
公开(公告)号: | CN109425590B | 公开(公告)日: | 2021-06-11 |
发明(设计)人: | 李昌烨;柳美软;苏城铉;孟赛莲 | 申请(专利权)人: | 韩国生产技术研究院 |
主分类号: | G01N21/39 | 分类号: | G01N21/39;G01N21/01 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 陈英俊 |
地址: | 韩国忠清*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本申请发明涉及在可运用的时间内可快速对齐的装置及利用它的对齐方法,以便在如排出端那样在内部存在很多气体且距离远的情况下可以应用TDLAS。提供一种可以在短时间内收敛的对齐方法,该方法为了对齐而使用双重缝隙,从而可以知道对齐方向。 | ||
搜索关键词: | 多种 气体 同时 测量 tdlas 对齐 系统 | ||
【主权项】:
1.一种多种气体同时测量TDLAS对齐系统,包括多种气体同时测量TDLAS,所述多种气体同时测量TDLAS包括:照射激光束的激光部;存在用于测量的气体且所述激光束通过的测量部;汇聚通过所述测量部的激光束的光检测部;以及利用所述激光束执行分析的处理部,其特征在于,所述多种气体同时测量TDLAS对齐系统还包括:配置在所述激光部的光源前的双重缝隙,或者,将所述激光部的激光光源分为2个的分光器和在通过所述分光器分别分配的单个光源前配置的单一缝隙;以及移动部,根据在所述光检测部出现的格纹的强度,移动所述激光部或所述光检测部的位置。
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