[发明专利]一种旋转平台及多倍程平面干涉角度测量系统

摘要

本发明公开一种旋转平台，包括固定基座、转台和两个驱动器，固定基座的上表面开设有与转台形状相匹配的凹槽，转台可转动嵌置安装在凹槽内；转台包括中心圆形转子，中心圆形转子的两侧对称设置有两个旋转臂，两个驱动器以中心圆形转子的圆心为中心呈中心对称分布，两个驱动器用于同时驱动两个旋转臂同向旋转；该旋转平台在转动时可避免中心产生平移。本发明还提供一种结构紧凑、受环境影响小、角度分辨率高的多倍程平面干涉角度测量系统，包括上述旋转平台、被测平面镜和测角干涉仪，被测平面镜放置在中心圆形转子的上表面，测角干涉仪设置在旋转平台的一侧。

主权项

1.一种旋转平台，其特征在于：包括固定基座、转台和两个驱动器，所述固定基座的上表面开设有与所述转台形状相匹配的凹槽，所述转台可转动嵌置安装在所述凹槽内；所述转台包括中心圆形转子，所述中心圆形转子的两侧对称设置有两个旋转臂，两个所述驱动器以所述中心圆形转子的圆心为中心呈中心对称分布，每个所述驱动器的输出端均嵌置在所述旋转臂的上表面内，每个所述驱动器的另一端均嵌置在所述固定基座的上表面内；两个所述驱动器用于同时驱动两个所述旋转臂同向旋转。