[发明专利]一种可承受高功率溅射的旋转靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201810818156.9 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN108570652B | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 孔伟华 | 申请（专利权）人： | 江苏迪丞光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人： | 吴伟文 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市邳*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及溅射靶材技术领域，具体提供一种可承受高功率溅射的旋转靶材，包括背管以及固定套接在背管外壁的一节靶材，背管与靶材通过填充在二者间隙内的邦定材料和金属网片组成的三明治结构连接。该靶材制备过程主要包括四步：(1)清洗背管和靶材；(2)金属网片缠绕在背管上，靶材的内表面衬一层金属网片；(3)邦定材料涂刷在背管表面和靶材内孔表面，然后把靶材从一端套在背管上，固定；(4)套装好的靶材和背管固化，即得。本发明的靶材可承受高功率的溅射，满足目前大功率镀膜工艺的需求，极大地提高了镀膜的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 背管 金属网片 高功率 溅射 旋转靶材 三明治结构 镀膜工艺 溅射靶材 内孔表面 制备过程 固定套 内表面 镀膜 套在 涂刷 外壁 制备 固化 填充 缠绕 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种可承受高功率溅射的旋转靶材，其特征在于，所述靶材包括背管以及固定套接在背管外壁的一节靶材；所述背管与所述靶材通过填充在二者间隙内的邦定材料和金属网片组成的三明治结构连接；其中，所述邦定材料为石墨烯复合邦定材料；所述石墨烯复合邦定材料由高分子树脂和石墨烯组成。
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