[发明专利]一种微流体阵列控制器的制备方法有效
| 申请号： | 201810818385.0 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN108970657B | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 刘立滨;许诺;臧金良;李平;刘宇航 | 申请（专利权）人： | 北京机械设备研究所 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 北京天达知识产权代理事务所(普通合伙) 11386 | 代理人： | 侯永帅;马东伟 |
| 地址： | 100854 北京市海淀区永*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微流体阵列控制器的制备方法，属于微流体控制技术领域，解决了现有技术不易实现大规模微流体阵列控制的问题。本发明公开的制备方法，包括如下步骤：制备微流体控制单元，该微流体控制单元包括微流体通道器件、薄膜晶体管器件、电容；按预设需求选取电源1、电源2；将M×N个所述微流体控制单元排列成M×N阵列，并进行线路连接。本发明制备的M×N阵列只需要M+N+2条引线，且微流体控制电压只需要20V左右。本发明所述制备方法能够实现大规模的微流体阵列控制，并能够大幅度降低大规模微流体阵列控制难度，减少引线数量，为微流体控制芯片的实用化提供了新的技术途径。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 流体 阵列 控制器 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微流体阵列控制器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：制备微流体控制单元，所述微流体控制单元包括微流体通道器件、薄膜晶体管器件、电容；按预设需求选取电源1、电源2；将M×N个所述微流体控制单元排列成M×N阵列，所述阵列中，每一行，所有薄膜晶体管器件的栅电极连接，并与对应的行控制信号连接；每一列，所有薄膜晶体管器件的源电极连接，并与对应的列控制信号连接；所有薄膜晶体管器件的漏电极通过对应的微流体通道器件与电源1连接，并通过对应的电容与电源2连接。
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