[发明专利]一种新型梳齿电极板微加速度计及其制作方法在审
| 申请号： | 201810818464.1 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN109142783A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 洪文涛;董林玺 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01P15/125 |
| 代理公司： | 绍兴市越兴专利事务所(普通合伙) 33220 | 代理人： | 蒋卫东 |
| 地址： | 310018*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种包含新型梳齿电极板的微加速度计。本发明中的微加速度计由下列部分组成：硅层的锚点、质量块，U型梁、栅形电极、驱动器锚点，驱动器U型梁，驱动器块、改进梳齿极板，防吸合固定质量块；衬底层；铝电极层。可动的栅形电极和固定极板的梳齿电极形成了电容对，在梳齿结构电极板上刻蚀凹槽可以有效减小阻尼，在对凹槽的具体结构做了理论分析和仿真验证之后，继续优化了凹槽的间距、形状等结构，所设计的微加速度计比传统的具有更低的压膜阻尼、更好的抗噪声性能，更高的品质因数，从而优化了微加速度计的综合性能。 | ||
| 搜索关键词： | 微加速度计 驱动器 电极板 梳齿 栅形电极 锚点 固定质量块 抗噪声性能 仿真验证 固定极板 刻蚀凹槽 理论分析 铝电极层 品质因数 梳齿电极 梳齿结构 压膜阻尼 综合性能 衬底层 传统的 质量块 电容 硅层 极板 减小 可动 吸合 优化 制作 改进 | ||
【主权项】：
1.一种新型梳齿电极板微加速度计，结构包括质量块、U型梁、锚点、栅形电极板、驱动器锚点，驱动器U型梁、驱动器块、驱动器电极板，还有底部的电极层、衬底和掩膜层。
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