[发明专利]极紫外光源净化设备在审
| 申请号： | 201810819905.X | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN109814338A | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 陈鑫封;刘柏村;陈立锐;张汉龙 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开公开了一种极紫外光源净化设备，以及一种用于监测和去除极紫外光微影(extreme ultraviolet lithography，EUVL)辐射源容器的窗口上的锡污染的设备和使用上述设备的方法，包括埋设在一个或多个监控单元中的光学感测模块，上述监控单元用于检查极紫外光辐射源。上述光学感测模块测量红外线(infrared，IR)辐射的强度。上述设备还包括加热元件、氢气供应模块和气体去除模块，上述气体去除模块用于当红外线辐射的强度下降到对应于实质上未被污染的窗口的基准强度的阈值以下时去除锡污染物。 | ||
| 搜索关键词： | 光学感测模块 极紫外光源 极紫外光 监控单元 净化设备 气体去除 去除 测量红外线 辐射源容器 红外线辐射 辐射源 加热元件 氢气供应 微影 污染 污染物 辐射 监测 检查 | ||
【主权项】：
1.一种极紫外光源净化设备，包括：一极紫外光辐射源模块，可通过一激光生成等离子体制程而进行操作以产生一极紫外光辐射；一第一监控单元，配置为用以通过一第一窗口检查该极紫外光辐射光源模块；一第一光学感测模块，埋设在该第一监控单元中，该第一光学感测模块包括一红外线发光二极管及一光感测器，其中该光感测器配置为用以测量由该红外线发光二极管发射并由该第一窗口引导的一红外线辐射；一氢气供应模块，配置为用以将一氢气提供到该第一窗口；以及多个加热元件，配置为用以加热该氢气。
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