[发明专利]用于能变化地影响射线束的波前的设备

摘要

本发明涉及一种用于能变化地影响射线束的波前的设备，其具有平面镜(1)以及调整和保持装置(10)，该平面镜具有对称轴线(A)，调整和保持装置具有台座(2)，台座与平面镜(1)的周面(1.3)固定地连接，并且台座居中地贴靠在平面镜(1)的背侧(1.2)上。存在有套管(3)，其能够沿着对称轴线(A)在台座(2)中被线性调节，并且经由膜片弹簧(8)一方面与台座(2)固定地连接，并且另一方面与类似冠状的调节元件(5)固定地连接。类似冠状的调节元件(5)具有冠齿，冠齿作用到与平面镜(1)连接的保持压板(6)上并使保持压板变形，从而将与变形相对应的力输入到平面镜(1)中以使该平面镜变形。

主权项

1.一种用于能变化地影响射线束的波前的设备，所述设备具有轴线对称的平面镜(1)以及调整和保持装置(10)，所述平面镜具有进行反射的前侧(1.1)、背侧(1.2)和围绕对称轴线(A)的周面(1.3)，其特征在于，所述调整和保持装置(10)具有台座(2)，所述平面镜(1)在所述周面(1.3)处与所述台座固定地连接，并且属于所述台座(2)地存在有支柱(2.1)，所述支柱利用第一支柱端部(2.1.1)居中地贴靠在所述平面镜(1)的背侧(1.2)上，存在有套管(3)，能够借助调整元件(4)沿着所述对称轴线(A)地在所述台座(2)中线性调节所述套管，所述调整和保持装置(10)还具有沿着所述对称轴线(A)在所述台座(2)中引导的类似冠状的调节元件(5)，所述类似冠状的调节元件具有至少三个冠齿和将这些冠齿连接起来的冠环(5.0)，其中，所述冠齿要么是至少一个具有相对对称轴线(A)倾斜的贴靠面(5.1.1)的第一冠齿(5.1)和至少一个具有相对对称轴线(A)平行的贴靠面(5.2.1)的第二冠齿(5.2)，要么所有冠齿都是分别具有相对对称轴线(A)倾斜的贴靠面(5.1.1)的第一冠齿(5.1)，存在有至少三个弹性的保持压板(6)，所述保持压板分别具有第一压板端部(6.1)和第二压板端部(6.2)，所述第一压板端部与所述平面镜(1)的背侧(1.2)固定地连接，所述第二压板端部与所述台座(2)固定地连接，其中，所述保持压板(6)分别具有纵向轴线(6.0)，所述纵向轴线平行于对称轴线(A)地延伸，并且所述至少三个弹性的保持压板(6)分别经由滚珠(7)间接地分别与其中一个倾斜的贴靠面(5.1.1)接触或与其中一个平行的贴靠面(5.2.1)接触，并且所述套管(3)被分部段的膜片弹簧(8)固定地包围住，所述膜片弹簧具有至少两个第一部段(8.1)和至少两个第二部段(8.2)，所述第一部段分别经由第一边缘区域(8.1.1)与台座(2)固定地连接，所述第二部段分别经由第二边缘区域(8.2.1)与类似冠状的调节元件(5)固定地连接。