[发明专利]一种多功能热电薄膜发电与光强传感器件的制备方法

摘要

本发明公开了一种多功能热电薄膜发电与光强传感器件的制备方法，属于微型薄膜功能器件能源收集与传感技术领域。所述方法包括步骤：对基底进行预处理；在预处理后的基底上沉积图案化高密度N型热电薄膜；对所述N型热电薄膜进行退火处理；在预处理后的基底上沉积图案化高密度P型热电薄膜和电极薄膜，电极薄膜将P型热电薄膜和N型热电薄膜的图案形成的热电偶串联；在热电偶的热端粘贴吸热膜后封装形成热电器件；将热电器件与所述菲涅尔透镜、散热结构以及壳体进行装配形成所述多功能热电薄膜发电与光强传感器件。本发明可以实现发电和光强传感，通过光强传感测试，利用本发明方法制备的热电薄膜器件具有高输出电压、高响应度等的特点。

主权项

1.一种多功能热电薄膜发电与光强传感器件的制备方法，其特征在于：利用热电材料固体内部载流子输运实现热能与电能相互转换，通过设计高密度热电器件，采用磁控溅射以及光刻‑剥离微加工的工艺，提高热电器件的电能输出、光强响应与可靠性，从而进行环境热能收集发电与主动式光强传感，实现具有温差发电与信号传感的双重功能，所述制备方法具体包括如下步骤：步骤一、对基底进行预处理；步骤二、通过磁控溅射以及光刻‑剥离微加工的工艺，在预处理后的基底上沉积指定图案的N型热电薄膜；步骤三、对所述N型热电薄膜进行退火处理；步骤四、通过磁控溅射以及光刻‑剥离微加工的工艺，在预处理后的基底上沉积指定图案的P型热电薄膜；所述的N型热电薄膜中的N型热电臂与相邻P型热电薄膜中的P型热电臂形成热电偶；步骤五、通过磁控溅射以及光刻‑剥离微加工的工艺，在预处理后的基底上沉积铜/镍电极薄膜；首先制备镍层图案将热电偶中热电臂串联，然后在镍层图案上制备一层铜层，镍层和铜层形成多层的铜/镍电极薄膜图案；步骤六、在所有热电偶的热端粘贴吸热膜；并用灌封胶将所述热电偶、电极薄膜以及吸热膜封装形成热电器件；步骤七、将所述热电器件与菲涅尔透镜、散热结构以及壳体进行装配形成多功能热电薄膜发电与光强传感器件。