[发明专利]一种原子力显微镜探针的制备方法在审
| 申请号： | 201810821914.2 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN109239405A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 杨树明;程碧瑶;王飞;王一鸣 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种原子力显微镜探针的制备方法，包括步骤：1)制备碳纳米管；准备普通硅探针：使用电子束蒸镀技术在普通硅探针针尖上镀10‑20nm金膜；2)组装碳纳米管探针：将夹持装置与三维移动台相连，金属片与基座通过双面导电胶相连，直流电压源的负极与普通硅探针相连，电压源正极与硅衬底相连，硅衬底上生长有步骤1)制备的碳纳米管；逐渐调整三维移动台，使普通硅探针和碳纳米管相互接近，通过信号发生器和功率放大器改变电压源的电压，产生电弧放电后减小电压值，碳纳米管粘到普通硅针尖上，得到原子力显微镜探针；3)通过退火工艺加固探针。本发明既可以增加探针的长径比又可以保证探针刚度。 | ||
| 搜索关键词： | 碳纳米管 硅探针 探针 原子力显微镜探针 制备 三维移动台 电压源 硅衬底 正极 电子束蒸镀 功率放大器 信号发生器 直流电压源 制备碳纳米 负极 电弧放电 夹持装置 双面导电 退火工艺 长径比 硅针尖 金属片 针尖 减小 金膜 组装 生长 保证 | ||
【主权项】：
1.一种原子力显微镜探针的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1)制备碳纳米管：将单晶硅片在乙醇中超声震荡去除表面杂质；用氢氟酸清洗；再次超声震荡；将含有二价铁的催化剂溶胶旋涂于硅片上；然后在氢气气氛下退火；将硅片衬底(7)放入真空管式炉的石英舟(8)上，抽真空通入氩气和氢气，通入乙烯调节氩气的流量，反应一段时间后停止通入乙烯，单独通氩气，抽真空停止加热并冷却，得到碳纳米管；准备普通硅探针：使用电子束蒸镀技术在普通硅探针针尖上镀10‑20nm金膜；2)组装碳纳米管探针：将夹持装置(1)与三维移动台(2)相连，金属片(3)与基座(4)通过双面导电胶相连，直流电压源的负极与普通硅探针(5)相连，电压源正极与硅衬底相连，硅衬底上生长有步骤1)制备的碳纳米管(6)；逐渐调整三维移动台(2)，使普通硅探针(5)和碳纳米管(6)相互接近，通过信号发生器和功率放大器改变电压源的电压，产生电弧放电后减小电压值，碳纳米管(6)粘到普通硅探针(5)针尖上，得到原子力显微镜探针。
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