[发明专利]基于钙钛矿的新型光电探测器及其制作方法有效
申请号: | 201810822069.0 | 申请日: | 2018-07-24 |
公开(公告)号: | CN109037458B | 公开(公告)日: | 2022-02-15 |
发明(设计)人: | 武青青;严亚杰;梁子骐;朱建军;胡少坚 | 申请(专利权)人: | 上海集成电路研发中心有限公司;复旦大学 |
主分类号: | H01L51/48 | 分类号: | H01L51/48;H01L51/42 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 郑星 |
地址: | 201210 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供了一种基于钙钛矿的新型光电探测器及其制作方法。通过在基底上自下而上依次设置第一电极、空穴传输层、包含有钙钛矿的光敏活性层、电子传输层和第二电极制作出具有垂直结构的新型光电探测器。所述光敏活性层为通过在二维钙钛矿前驱体溶液中加入卤化盐和有机溶剂制作出的具有二维钙钛矿和三维钙钛矿交叉网络结构的新型钙钛矿。所述二维钙钛矿和三维钙钛矿交叉网络结构使新型钙钛矿的结晶度增加,载流子寿命延长,而且使新型钙钛矿同时具备载流子二维平面内传输特性和沿三维结构向平面间传输的特性,进而使得包含有新型钙钛矿的新型光探测器具有更大的光电流和更高的光响应度,以及表现出极好的空气稳定性和长效循环稳定性。 | ||
搜索关键词: | 基于 钙钛矿 新型 光电 探测器 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
1.一种基于钙钛矿的新型光电探测器的制作方法,其特征在于,包括:提供基底,在所述基底上设置第一电极;在所述第一电极上设置空穴传输层;在所述空穴传输层上设置光敏活性层,所述光敏活性层的材料包括具有二维钙钛矿和三维钙钛矿交叉网络结构的新型钙钛矿;在所述光敏活性层上设置电子传输层;以及在所述电子传输层上设置第二电极。
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