[发明专利]驱动扫描微镜进行转动的方法及其装置有效
| 申请号： | 201810823608.2 | 申请日： | 2018-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN110764251B | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 沈文江;余晖俊;黄艳飞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描微镜控制方法，产生对扫描微镜扰动最小的锯齿波；获取所述扫描微镜的第一位置信号；根据所述锯齿波和所述第一位置信号产生驱动信号，以驱动所述扫描微镜进行转动。本发明还公开了一种扫描微镜控制装置。本发明通过先确定对扫描微镜扰动最小的输入锯齿波作为输入信号，再对扫描微镜进行闭环控制，可有效降低扫描微镜的失真响应。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动 扫描 进行 转动 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.一种驱动扫描微镜进行转动的方法，其特征在于，所述方法包括：/n产生对扫描微镜扰动最小的锯齿波；/n获取所述扫描微镜的第一位置信号；/n根据所述锯齿波和所述第一位置信号产生驱动信号，以驱动所述扫描微镜进行转动。/n
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