[发明专利]掩模板及掩模组件有效
申请号: | 201810823724.4 | 申请日: | 2018-07-25 |
公开(公告)号: | CN108950474B | 公开(公告)日: | 2020-06-23 |
发明(设计)人: | 肖志慧 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C16/04 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 杨广宇 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种掩模板及掩模组件,属于显示技术领域。所述掩模板上设置有掩模图案,掩模图案包括用于在衬底上形成图案的有效掩模区域,以及包围有效掩模区域的周边区域;周边区域的掩模图案包括:位于有效掩模区域在垂直于掩模板的待绷直方向上的至少一侧的加固条。本发明解决了在拉伸掩模板的过程中,掩模板中的掩模图案会发生较大形变,从而使得掩模组件无法正常使用的问题。本发明用于制备显示面板。 | ||
搜索关键词: | 模板 模组 | ||
【主权项】:
1.一种掩模板,其特征在于,所述掩模板上设置有掩模图案,所述掩模图案包括用于在衬底上形成图案的有效掩模区域,以及包围所述有效掩模区域的周边区域;所述周边区域的所述掩模图案包括:位于所述有效掩模区域在垂直于所述掩模板的待绷直方向上的至少一侧的加固条。
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