[发明专利]磁性随机存取存储器及其制造方法有效
| 申请号： | 201810823818.1 | 申请日： | 2018-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN109768156B | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 牛宝华;应继锋 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L43/08 | 分类号： | H01L43/08;H01L43/10;H01L43/12;H01L27/22;G11C11/16 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明的实施例提供了磁性随机存取存储器及其制造方法。磁性随机存取存储器的存储单元包括设置在第一金属层与第二金属层之间的多层。多层中的至少一层包括从由铱层、铱层和氧化铱层的双层结构、铱‑钛氮化物层、铱层和钽层的双层结构、以及铱和钽的二元合金层组成的组中选择的一种。 | ||
| 搜索关键词： | 磁性 随机存取存储器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种磁性随机存取存储器的存储单元，所述存储单元包括设置在第一金属层与第二金属层之间的多层，其中，所述多层中的至少一层包括从由铱层、铱层和氧化铱层的双层结构、铱‑钛氮化物层、铱层和钽层的双层结构、以及铱和钽的二元合金层组成的组中选择的一种。
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