[发明专利]一种自动控制电流、电压及时间的化学抛光设备及其方法在审

专利信息
申请号: 201810823907.6 申请日: 2018-07-25
公开(公告)号: CN109267143A 公开(公告)日: 2019-01-25
发明(设计)人: 刘兴军;姚志富;张倩;王翠萍;杨鹏博;王瑞芳;陈志鹏;欧阳明亮 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学(深圳)
主分类号: C25F3/16 分类号: C25F3/16
代理公司: 深圳市添源知识产权代理事务所(普通合伙) 44451 代理人: 罗志伟
地址: 518000 广东省深圳市南*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种自动控制电流、电压及时间的化学抛光设备,包括电流‑电压传感器、电压控制器、计算机、电源和电解槽,所述电解槽内设有电解液、阴极和作为阳极的工件,所述阴极和工件分别置于所述电解液中并对应设置,所述工件与所述电源的阳极连接,所述电源的阴极串联所述电流‑电压传感器、电压控制器后与所述阴极连接,所述电流‑电压传感器的输出端与所述计算机连接。本发明还提供了一种自动控制电流、电压及时间的化学抛光方法。本发明的有益效果是:通过逐渐升高电压,实时监测“电流‑电压曲线”,捕捉理想的抛光电压和电流。
搜索关键词: 阴极 自动控制电流 电压传感器 化学抛光 电源 电压控制器 电解槽 电解液 计算机连接 阳极 电压曲线 抛光电压 升高电压 实时监测 阳极连接 阴极串联 输出端 捕捉 计算机
【主权项】:
1.一种自动控制电流、电压及时间的化学抛光设备,其特征在于:包括电流‑电压传感器、电压控制器、计算机、电源和电解槽,所述电解槽内设有电解液、阴极和作为阳极的工件,所述阴极和工件分别置于所述电解液中并对应设置,所述工件与所述电源的阳极连接,所述电源的阴极串联所述电流‑电压传感器、电压控制器后与所述阴极连接,所述电流‑电压传感器的输出端与所述计算机连接,所述电流‑电压传感器将监测到的电流数值、电压数值传给所述计算机,所述计算机与所述电压控制器的输入端连接,所述计算机通过所述电压控制器控制电压。
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