[发明专利]朗缪尔探针、朗缪尔探针诊断系统及其诊断方法在审
申请号: | 201810824808.X | 申请日: | 2018-07-25 |
公开(公告)号: | CN108696978A | 公开(公告)日: | 2018-10-23 |
发明(设计)人: | 蔡国飙;韩木天;凌贵龙;翁惠焱;贺碧蛟 | 申请(专利权)人: | 北京航空航天大学 |
主分类号: | H05H1/00 | 分类号: | H05H1/00 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 吴迪 |
地址: | 100000*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了朗缪尔探针、朗缪尔探针诊断系统及其诊断方法,涉及等离子体技术领域。包括收集器、导电式螺杆引线、陶瓷护套以及螺母;收集器包括呈圆柱形的第一子收集器以及呈圆柱形的第二子收集器;第一子收集器的直径大于第二子收集器的直径、且第一子收集器与第二子收集器为同心结构,第一子收集器与第二子收集器一体成型;导电式螺杆引线拧入第二子收集器内与第二子收集器连接,陶瓷护套呈凸台形、且套设于第一子收集器的侧面以及第二子收集器的侧面、且与第一子收集器以及第二子收集器过盈配合;六角螺母与导电式螺杆引线螺接、且与陶瓷护套抵接;该朗缪尔探针能够防止探针侧面收集粒子,减少探针收集面积,提高测量精度。 | ||
搜索关键词: | 收集器 探针 陶瓷护套 导电式 螺杆 探针诊断 侧面 等离子体技术 螺母 诊断 过盈配合 六角螺母 探针收集 同心结构 一体成型 凸台形 抵接 螺接 拧入 粒子 测量 | ||
【主权项】:
1.朗缪尔探针,其特征在于,包括收集器、导电式螺杆引线、陶瓷护套以及螺母;所述收集器包括呈圆柱形的第一子收集器以及呈圆柱形的第二子收集器;所述第一子收集器的直径大于所述第二子收集器的直径、且第一子收集器与所述第二子收集器为同心结构,所述第一子收集器与所述第二子收集器一体成型;所述导电式螺杆引线拧入所述第二子收集器内与所述第二子收集器连接,所述陶瓷护套呈凸台形、且套设于所述第一子收集器的侧面以及所述第二子收集器的侧面、且与所述第一子收集器以及所述第二子收集器过盈配合;所述螺母与所述导电式螺杆引线螺接、且与所述陶瓷护套抵接。
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