[发明专利]一种基于多层氧化物薄膜的选通器器件结构及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 201810826106.5 | 申请日： | 2018-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN109065710B | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 宋成;孙一鸣;殷俊;曾飞;潘峰 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅;王春霞 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于多层氧化物薄膜的选通器器件结构及其制备方法与应用。它的结构由下至上依次包括衬底、底电极、选通功能层和顶电极；所述选通功能层包括多层氧化物薄膜。它的制备方法，包括如下步骤：通过在所述衬底上光刻出所述选通器的图形；在上述光刻后衬底上依次沉积所述底电极、所述选通功能层和所述顶电极，即得到所述选通器。本发明选通器高选择性(或开关比)、低阈值电压、快响应速度、高寿命、高均一性，电学各项性能指标优异；其利用简单的磁控溅射制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 多层 氧化物 薄膜 选通器 器件 结构 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种选通器，其特征在于：该选通器的结构由下至上依次包括衬底、底电极、选通功能层和顶电极；所述选通功能层包括多层氧化物薄膜。
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