[发明专利]一种单晶硅切割渣及切割废液的回收处理方法在审
| 申请号： | 201810827057.7 | 申请日： | 2018-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN108910887A | 公开（公告）日： | 2018-11-30 |
| 发明（设计）人： | 羊实;周旭 | 申请（专利权）人： | 成都斯力康科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/956 | 分类号： | C01B32/956;C01B33/039;C05G1/00;C08J11/06;C08L71/02 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 陈蒋玲 |
| 地址： | 610000 四川省成都市天府*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶硅切割渣及切割废液的回收处理方法，包括以下步骤：(1)、在处于搅拌下的单晶硅切割渣及切割废液中加入盐酸，搅拌反应后得混合料液；(2)、将混合料液加热蒸发进行固液分离，得到碳化硅、硅和杂质的固体混合物和气体，将气体蒸出冷凝后得水和聚乙二醇的混合液，脱水后升温排水得聚乙二醇；(3)、将碳化硅、硅和杂质的固体混合物经震荡清洗和重力分离得到碳化硅和硅的固体混合物；(4)、将碳化硅和硅的固体混合物加入到硝酸和HF组成的混合酸溶液中，反应后将氟硅酸蒸出，冷凝得氟硅酸，再将氟硅酸加工回收硅，反应后剩余碳化硅和酸液，过滤酸洗、水洗并干燥得碳化硅。本发明方法环保且具有很大的经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅 固体混合物 单晶硅切割 氟硅酸 废液 切割 回收处理 混合料液 聚乙二醇 冷凝 混合酸溶液 固液分离 加热蒸发 搅拌反应 震荡清洗 重力分离 混合液 硝酸 酸洗 酸液 脱水 盐酸 过滤 排水 回收 加工 环保 | ||
【主权项】：
1.一种单晶硅切割渣及切割废液的回收处理方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)、在处于搅拌下的单晶硅切割渣及切割废液中加入酸，搅拌反应后得混合料液；(2)、将混合料液加热蒸发进行固液分离，得到碳化硅、硅和杂质的固体混合物和气体，将气体蒸出冷凝后得水和聚乙二醇的混合液，脱水后升温排水得聚乙二醇；(3)、将碳化硅、硅和杂质的固体混合物经震荡清洗和重力分离得到碳化硅和硅的固体混合物；(4)、将碳化硅和硅的固体混合物加入到硝酸和HF组成的混合酸溶液中，反应后将氟硅酸蒸出，冷凝得氟硅酸，再将氟硅酸加工回收硅，反应后剩余碳化硅和酸液，过滤酸洗、水洗并干燥得碳化硅。
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