[发明专利]一种用于大范围测量的光谱共焦测量系统及方法

摘要

本发明公开了一种用于大范围测量的光谱共焦测量系统及方法，属于光学位移测量技术领域，包括光源组件、光谱共焦测量组件、信号接收组件和处理器；光源组件包括宽光谱光源和可调谐滤光器；光谱共焦测量组件包括分光镜和色散物镜组，特定波长范围的光束依次透过分光镜和色散物镜组到达待测物体表面，待测物体表面反射回的光束经分光镜反射至信号接收组件；信号接收组件包括CCD相机，处理器通过计算CCD相机获得的图像光谱得到波长信息，并根据波长信息调节可调谐滤光器输出窄带光，同时利用波长与轴向距离的线性关系得到对应波长的位置信息。通过采用宽光谱光源与可调滤波器结合的方式，在保证测量精度的同时，增大被测物体所测量的位置范围。

主权项

1.一种用于大范围测量的光谱共焦测量系统，包括光源组件、光谱共焦测量组件和信号接收组件，其特征在于，还包括与所述光源组件和信号接收组件电连接的处理器；所述光源组件包括宽光谱光源和与所述处理器电连接的可调谐滤光器，所述可调谐滤光器对宽光谱光源所发出的光束进行过滤得到特定波长范围的光束；所述光谱共焦测量组件包括分光镜和色散物镜组，特定波长范围的光束依次透过分光镜和色散物镜组到达待测物体表面，待测物体表面反射回的光束经分光镜反射至信号接收组件；所述信号接收组件包括与所述处理器电连接的CCD相机，所述CCD相机在分光镜的反射光焦点处取像，获得图像信息并传输给处理器，所述处理器通过计算图像光谱得到波长信息，并根据波长信息调节可调谐滤光器输出窄带光，同时利用波长与轴向距离的线性关系得到对应波长的位置信息。