[发明专利]柔性储能薄膜及其制备方法、薄膜电容器有效
| 申请号： | 201810829730.0 | 申请日： | 2018-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN110767472B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 冯雪;王志建 | 申请（专利权）人： | 浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学 |
| 主分类号： | H01G13/00 | 分类号： | H01G13/00;H01G4/33;H01G4/12;C23C14/08;C23C14/16;C23C14/32;C23C14/35;C23C14/58 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 李丽华 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种柔性储能薄膜及其制备方法、薄膜电容器。所述制备方法包括：提供一柔性金属衬底；以金属单质作为靶材，采用磁过滤多弧离子镀方法在柔性金属衬底上沉积形成金属薄膜；以钛酸锶作为靶材，采用磁控溅射方法在金属薄膜上沉积形成钛酸锶预制层；对沉积有金属薄膜和钛酸锶预制层的柔性金属衬底进行热处理，使金属薄膜中的金属原子向钛酸锶预制层扩散，得到陶瓷薄膜，陶瓷薄膜包括依次贴合于金属薄膜的金属原子掺杂钛酸锶的扩散固溶层和钛酸锶层。通过该制备方法实现了储能薄膜柔性化，同时还使储能薄膜具有高可靠性和高储能密度，可以用作薄膜电容器的电介质材料。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 薄膜 及其 制备 方法 电容器 | ||
【主权项】：
1.一种柔性储能薄膜的制备方法，其特征在于，包括：/n提供一柔性金属衬底；/n以金属单质作为靶材，采用磁过滤多弧离子镀方法在所述柔性金属衬底上沉积形成金属薄膜；/n以钛酸锶作为靶材，采用磁控溅射方法在所述金属薄膜上沉积形成钛酸锶预制层；/n对沉积有金属薄膜和钛酸锶预制层的柔性金属衬底进行热处理，使所述金属薄膜中的金属原子向钛酸锶预制层扩散，得到陶瓷薄膜，其中，所述陶瓷薄膜包括依次贴合于所述金属薄膜的金属原子掺杂钛酸锶的扩散固溶层和钛酸锶层。/n
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