[发明专利]柔性储能薄膜及其制备方法、薄膜电容器有效
| 申请号： | 201810829735.3 | 申请日： | 2018-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN110767447B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 冯雪;王志建 | 申请（专利权）人： | 浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学 |
| 主分类号： | H01G4/002 | 分类号： | H01G4/002;H01G4/005;H01G4/12;H01G4/33;C23C14/08;C23C14/32 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 李丽华 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种柔性储能薄膜及其制备方法、薄膜电容器。所述制备方法包括：提供一柔性金属衬底；以钛金属作为靶材，采用磁过滤多弧离子镀方法在所述柔性金属衬底上沉积形成二氧化钛预制层，其中所述磁过滤多弧离子镀方法中的工作气氛为氩气和氧气的混合气体；对沉积有二氧化钛预制层的柔性金属衬底进行热处理，得到柔性储能薄膜。所述柔性储能薄膜包括柔性金属衬底以及形成于所述柔性金属衬底上的二氧化钛层。通过该制备方法不仅实现了储能薄膜的柔性化，同时还使储能薄膜具有高可靠性和高储能密度，可以用作薄膜电容器的电介质材料。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 薄膜 及其 制备 方法 电容器 | ||
【主权项】：
1.一种柔性储能薄膜的制备方法，其特征在于，包括：/n提供一柔性金属衬底；/n以钛金属作为靶材，采用磁过滤多弧离子镀方法在所述柔性金属衬底上沉积形成二氧化钛预制层，其中所述磁过滤多弧离子镀方法中的工作气氛为氩气和氧气的混合气体；/n对沉积有二氧化钛预制层的柔性金属衬底进行热处理，得到柔性储能薄膜。/n
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