[发明专利]一种大分子沉积装置

摘要

本发明涉及材料制备领域，一种大分子沉积装置，包括缓冲气出口、喷雾腔、电喷雾装置、高压电源、缓冲气体腔、出气口I、出气口II、缓冲气进口、真空腔、泵组、分流器、沉积腔、挡板、直流电源，所述喷雾腔、缓冲气体腔、真空腔和沉积腔依次连接，缓冲气体腔具有出气口I、出气口II和缓冲气进口，出气口II是直径为二毫米的圆形，出气口I是内径为六毫米外径为八毫米的环形，缓冲气体从缓冲气进口进入缓冲气体腔，通过出气口I和出气口II进入喷雾腔，从缓冲气出口排出；电喷雾装置的外管末端内壁上具有形状相同的若干缺口，相邻的所述缺口之间的间距一致，使得能够增大局域电场而产生更多的液体喷雾，分流器I具有加热丝。本发明适合大分子沉积。

主权项

1.一种大分子沉积装置，主要包括缓冲气出口(1)、喷雾腔(2)、电喷雾装置(3)、高压电源(4)、缓冲气体腔(5)、出气口I(6)、出气口II(7)、缓冲气进口(8)、真空腔(9)、泵组I(10)、分流器I(11)、泵组II(12)、分流器II(13)、泵组III(14)、沉积腔(15)、挡板(16)、直流电源(17)和样品(18)，xyz为三维坐标系，所述喷雾腔(2)、缓冲气体腔(5)、真空腔(9)和沉积腔(15)依次连接，所述真空腔(9)被分流器I(11)和分流器II(13)分为真空段I(9‑1)、真空段II(9‑2)和真空段III(9‑3)，真空段I(9‑1)和真空段III(9‑3)分别位于真空腔(9)的起始端和末端，所述起始端和末端均具有小孔，沉积腔(15)的起始端具有小孔；泵组I(10)、泵组II(12)和泵组III(14)分别连接真空段I(9‑1)、真空段II(9‑2)和真空段III(9‑3)；所述挡板(16)和样品(18)位于沉积腔(15)中，挡板(16)为金属材质并具有通孔，所述通孔直径范围是一毫米至十毫米；直流电源(17)的一个电极连接挡板(16)，另一个电极接地，能够中和积聚在挡板(16)上的电荷；电喷雾装置(3)位于喷雾腔(2)内，电喷雾装置(3)由外管(1‑1)、内管(1‑2)、挡板(1‑3)和液体入口(1‑4)组成，所述挡板(1‑3)将所述内管(1‑2)的末端端口密封，所述外管(1‑1)和内管(1‑2)均为圆柱形，外管(1‑1)的内径为3000微米，内管(1‑2)的外径为2700微米，所述外管(1‑1)和内管(1‑2)为同轴嵌套构型，外管(1‑1)和内管(1‑2)之间为液体通道，液体入口(1‑4)连接外管(1‑1)外壁并与所述液体通道连通，高压电源(4)与外管(1‑1)电缆连接，其特征是：所述缓冲气体腔(5)具有出气口I(6)、出气口II(7)和缓冲气进口(8)，出气口II(7)是直径为二毫米的圆形且位于xy平面，出气口I(6)是内径为六毫米外径为八毫米的环形且位于xy平面，出气口I(6)与出气口II(7)同心，缓冲气体从缓冲气进口(8)进入缓冲气体腔(5)，并能够通过出气口I(6)和出气口II(7)进入喷雾腔(2)，最终从缓冲气出口(1)排出，缓冲气体为氮气或氦气；电喷雾装置(3)的外管(1‑1)末端内壁上具有形状相同的若干缺口，相邻的所述缺口之间的间距相等，使得能够增大局域电场而产生更多的液体喷雾，所述分流器I(11)具有加热丝，其温度能够从室温到500摄氏度范围内调节。