[发明专利]一种金属铀表面制备抗氧化铀钽薄膜的方法有效
| 申请号： | 201810832224.7 | 申请日： | 2018-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN108559965B | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 柯博;邢丕峰;郑凤成;李宁;杨蒙生;赵利平;易泰民;王丽雄 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 贾泽纯 |
| 地址： | 621900*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种金属铀表面制备抗氧化铀钽薄膜的方法，它属于材料表面处理技术领域，具体涉及一种金属铀材料表面防护用抗氧化铀钽薄膜的制备方法。本发明目的是为了解决金属铀材料化学性质活泼，应用中极易氧化腐蚀失效的问题。金属铀表面制备抗氧化铀钽薄膜的方法：以金属铀靶和金属钽靶为靶材，采用双靶磁控溅射共沉积方法在金属铀薄膜或金属铀块体表面制备抗氧化铀钽薄膜。优点：铀钽薄膜具有优异的抗氧化性能，与铀材料具有良好的界面结合力及化学相容性。本发明主要用于在金属铀表面制备抗氧化铀钽薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 表面 制备 氧化 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种金属铀表面制备抗氧化铀钽薄膜的方法，其特征在于它是按以下步骤完成的：以铀钽合金靶作为靶材，采用直流磁控溅射在金属铀薄膜或金属铀块体表面制备抗氧化铀钽薄膜；所述抗氧化铀钽薄膜中钽含量为3at.％～12at.％。
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