[发明专利]一种多层印刷改善溶液法氧化锆绝缘层性能的方法在审
| 申请号： | 201810834034.9 | 申请日： | 2018-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN109244237A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 宁洪龙;蔡炜;姚日晖;陶瑞强;陈建秋;朱镇南;魏靖林;刘贤哲;周尚雄;彭俊彪 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | H01L49/02 | 分类号： | H01L49/02 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 罗啸秋 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于显示器件技术领域，公开了一种多层印刷改善溶液法氧化锆绝缘层性能的方法。将ZrOCl2·8H2O溶于乙二醇单甲醚与乙二醇的混合溶剂中，配置浓度为0.3～0.6mol/L的前驱体溶液；在玻璃基板表面沉积一层图形化的ITO底栅，清洗烘干，得到ITO玻璃衬底；在ITO玻璃衬底上喷墨打印所得前驱体溶液，重复印刷过程2～3次，然后退火处理得到氧化锆绝缘层薄膜，最后通过磁控溅射镀Al电极，得到氧化锆绝缘层薄膜器件。本发明通过简单的重复印刷工艺，不需要改变溶液成分和印刷工艺，便可显著降低印刷氧化锆绝缘薄膜的缺陷和漏电流，对溶液法加工绝缘薄膜有重要意义。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锆 溶液法 绝缘层 绝缘层薄膜 前驱体溶液 多层印刷 绝缘薄膜 印刷工艺 衬底 玻璃基板表面 乙二醇单甲醚 磁控溅射 混合溶剂 喷墨打印 清洗烘干 退火处理 显示器件 印刷过程 重要意义 漏电流 图形化 乙二醇 重复 沉积 底栅 印刷 配置 加工 | ||
【主权项】：
1.一种多层印刷改善溶液法氧化锆绝缘层性能的方法，其特征在于包括如下步骤：(1)前驱体溶液配制：将ZrOCl2·8H2O溶于乙二醇单甲醚与乙二醇的混合溶剂中，配置浓度为0.3～0.6mol/L的前驱体溶液；(2)衬底制备：在玻璃基板表面沉积一层图形化的ITO底栅，清洗烘干，得到ITO玻璃衬底；(3)在ITO玻璃衬底上喷墨打印步骤(1)所得前驱体溶液，重复印刷过程2～3次，然后退火处理得到氧化锆绝缘层薄膜；(4)在步骤(3)的氧化锆绝缘层薄膜上通过磁控溅射镀Al电极，得到氧化锆绝缘层薄膜器件。
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