[发明专利]对象体研磨装置及对象体研磨方法在审
| 申请号： | 201810835788.6 | 申请日： | 2018-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN110640622A | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 张道祥;洪侊杓 | 申请（专利权）人： | 株式会社PDT |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34;B24B57/02 |
| 代理公司： | 11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 延美花;臧建明 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开一种对象体研磨装置及对象体研磨方法。所述对象体研磨装置包括：工作台，其能够移动且能够用于配置对象体；研磨单元，其可旋转地位于工作台上，具有外壳部、设置于外壳部内且利用至少一个永磁铁向供应到对象体上的磁流变流体施加磁场以整列磁流变流体的磁场发生部及与磁场发生部相邻且利用电磁铁将永磁铁的磁场限制在外壳部内部的磁场限制部；磁流变流体供应部，其能够向对象体上供应磁流变流体；以及研磨液供应部，其向磁流变流体与对象体之间供应研磨用研磨液。因此，能够将大面积的对象体整体研磨均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 对象体 磁流变流体 外壳部 磁场 磁场发生部 研磨装置 研磨 供应部 研磨液 永磁铁 电磁铁 配置对象 研磨单元 整体研磨 可旋转 工作台 整列 施加 移动 | ||
【主权项】：
1.一种对象体研磨装置，其特征在于，包括：/n工作台，其能够移动且能够用于配置对象体；/n研磨单元，其可旋转地位于所述工作台上，具有外壳部、设置于所述外壳部内且利用至少一个永磁铁向供应到所述对象体上的磁流变流体施加磁场以整列所述磁流变流体的磁场发生部及与所述磁场发生部相邻且利用电磁铁将所述永磁铁的磁场限制在所述外壳部的内部的磁场限制部；/n磁流变流体供应部，其能够向所述对象体上供应所述磁流变流体；以及/n研磨液供应部，其向所述磁流变流体与所述对象体之间供应研磨用研磨液。/n
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