[发明专利]双装载部的双面曝光机及双面曝光方法有效
申请号: | 201810836043.1 | 申请日: | 2018-07-26 |
公开(公告)号: | CN108873622B | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
发明(设计)人: | 汪孝军;廖平强;张胜 | 申请(专利权)人: | 中山新诺科技股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 刘培培 |
地址: | 528437 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种双装载部的双面曝光机及双面曝光方法。包括工作台;曝光机构包括均能够沿工作台移动的第一曝光组件和第二曝光组件、并在工作台形成曝光区;装载机构包括装载台,装载台设有第一装载部和第二装载部,第一装载部和第二装载部呈间距设置,装载台能够沿工作台移动、并使第一装载部或第二装载部移动至曝光区。通过可移动的第一曝光组件和第二曝光组件的设置,曝光时,装载台移动到预设位置,使第一装载部或第二装载部位于曝光区,之后第一曝光组件和第二曝光组件移动、从而对对应的第一待曝光件或第二待曝光件进行曝光,由于同时双面曝光,避免了翻转等操作,减少了曝光流程及对位等问题,提高了曝光效率和曝光精度。 | ||
搜索关键词: | 装载 双面 曝光 方法 | ||
【主权项】:
1.一种双面曝光机,其特征在于,包括:工作台,所述工作台设有曝光通孔;曝光机构,所述曝光机构包括第一曝光组件和第二曝光组件,所述第一曝光组件和所述第二曝光组件分别设于所述工作台的两侧、并均能够沿所述工作台移动,所述第一曝光组件和所述第二曝光组件均移动、并在所述工作台形成曝光区,所述曝光区与所述曝光通孔对应设置;及装载机构,所述装载机构包括装载台,所述装载台设有第一装载部和第二装载部,所述第一装载部用于装载第一待曝光件,所述第二装载部用于装载第二待曝光件,所述第一装载部和所述第二装载部呈间距设置,所述装载台能够沿所述工作台移动、并使所述第一装载部或所述第二装载部移动至所述曝光区,所述第一曝光组件和所述第二曝光组件移动、并对所述曝光区的所述第一待曝光件或所述第二待曝光件进行曝光。
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