[发明专利]一种新型气体流量和浓度测量仪在审
| 申请号： | 201810836072.8 | 申请日： | 2018-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN108593027A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 廖进昆;张大印;关元生;蔡淇智;王俊 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01F1/66 | 分类号： | G01F1/66;G01N21/31 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 谢建 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型气体流量和浓度测量仪，包括激光器、激光准直透镜、分光镜、第一反射棱镜、第二反射棱镜、第三反射棱镜、第一聚焦透镜、气体管道、第二聚焦透镜、光子探测器；激光器发出的光路主线经激光准直透镜传递到分光镜后，一部分传递至第三反射棱镜，另一部分依次传递至第一反射棱镜和第二反射棱镜，从第三反射棱镜和第二反射棱镜出来的光路相互平行，经第一聚焦透镜折转后在气体管道内形成干涉条纹区，气体分子垂直穿过干涉条纹区形成的散射光经第二聚焦透镜聚焦，并由光子探测器探测。本发明可同时对气体的流量和浓度进行测量，显著提高检测效率，保证气体流量和浓度检测的一致性，且检测过程简单方便，可有效降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 反射棱镜 聚焦透镜 透镜 光子探测器 浓度测量仪 干涉条纹 激光准直 气体管道 新型气体 激光器 分光镜 光路 传递 有效降低成本 垂直穿过 浓度检测 气体分子 气体流量 散射光 检测 折转 平行 测量 探测 聚焦 主线 保证 | ||
【主权项】：
1.一种新型气体流量和浓度测量仪，其特征在于，包括激光器(1)、激光准直透镜(2)、分光镜(3)、第一反射棱镜(4)、第二反射棱镜(5)、第三反射棱镜(6)、第一聚焦透镜(7)、气体管道(8)、第二聚焦透镜(13)、光子探测器(14)；所述激光器(1)发出的光路主线经激光准直透镜(2)传递到分光镜(3)后，一部分传递至第三反射棱镜(6)，另一部分依次传递至第一反射棱镜(4)和第二反射棱镜(5)，从第三反射棱镜(6)和第二反射棱镜(5)出来的光路相互平行，经第一聚焦透镜(7)折转后进入气体管道(8)，并在气体管道(8)内形成干涉条纹区(11)，气体分子(10)垂直穿过干涉条纹区(11)形成的散射光经第二聚焦透镜(13)聚焦，并由光子探测器(14)探测。
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