[发明专利]太赫兹波探测器

摘要

本发明属于探测器技术领域，具体涉及一种太赫兹波探测器，以六氯铱酸铵、二辛基锡、九水合硝酸铝、乙醇和丙酸、氢氧化钾甲醇溶液、过氧苯甲酸叔丁酯、乙酸锰、硝酸钴、三茂钐为原料制备支撑层前驱体；以氧化石墨烯、环氧树脂、单硬脂酸甘油酯与二苯基硅二醇、石蜡为原料制备隔离层前驱体；将纳米粉加入隔离层前驱体中，再加入碳纳米管，制备加强层前驱体；在耐热基底上依次涂覆隔离层前驱体、加强层前驱体、支撑层前驱体，得到衬底；在衬底上利用外延法制备铝镓氮/镓氮层；然后制备有源区台面、栅介质、欧姆接触窗口、电极，从而得到太赫兹波探测器，在室温条件下对THz波实现高速、高灵敏度、高信噪比探测。

主权项

1.一种太赫兹波探测器，其特征在于，所述太赫兹波探测器的制备方法包括以下步骤：（1）在氮气保护下，混合六氯铱酸铵、二辛基锡、九水合硝酸铝、乙醇和丙酸；然后回流搅拌5分钟，然后加入氢氧化钾甲醇溶液与过氧苯甲酸叔丁酯；反应10分钟后自然冷却至室温，加入乙酸乙酯聚沉离心；将离心沉淀物水洗后分散于乙醇中得分散体系；然后加入乙酸锰、硝酸钴、水，搅拌10分钟加入三茂钐，搅拌1小时，得到支撑层前驱体；（2）在分散体系中加入聚乙烯醇、双氧水、四苯基卟啉铁，50℃搅拌1小时，然后加入4,4‑二氨苯基甲烷、正硅酸乙酯，回流搅拌10分钟，然后浓缩得到固含量80%的浓缩物；将浓缩物进行超重力处理；然后冷冻干燥，得到纳米粉；所述超重力处理的转速为35000～40000rpm；浓缩物的流量为80～90mL/min；（3）将氧化石墨烯、环氧树脂加入丙酮，回流搅拌20分钟后加入单硬脂酸甘油酯与二苯基硅二醇，继续搅拌10分钟，然后加入石蜡，搅拌30分钟，得到隔离层前驱体；（4）将纳米粉加入隔离层前驱体中，搅拌5分钟后加入碳纳米管，搅拌10分钟得到加强层前驱体；（5）在耐热基底上依次涂覆隔离层前驱体、加强层前驱体、支撑层前驱体，得到衬底；每次涂覆后室温干燥；（6）在衬底上利用外延法制备铝镓氮/镓氮层；然后制备有源区台面、栅介质、欧姆接触窗口、电极，从而得到太赫兹波探测器。