[发明专利]基于超表面的垂直腔面发射激光器及其制作方法有效
| 申请号： | 201810838038.4 | 申请日： | 2018-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN109038214B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 夏金松;王玉西;曾成;袁帅 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183 |
| 代理公司： | 42201 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 李智;曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于超表面结构的垂直腔面发射激光器，其包括宽带下反射镜、增益介质和基于超表面结构的窄带上反射镜；宽带反射镜反射谱、增益介质发光光谱和超表面反射镜窄带反射波长三者重叠，首先通过泵浦源对增益介质进行激励，再由宽带反射镜和基于超表面结构的窄带反射镜构成垂直谐振腔形成受激辐射光放大，进而实现垂直腔面的激光发射。本发明还公开了一种制作方法，包括：基底材料上宽带反射镜的设计与制备；增益介质的结构设计与外延生长；基于超表结构的窄带反射镜的设计和制备；最终得到基于超表面结构的垂直腔面发射激光器。该垂直腔面发射激光器结构简单紧凑，与现有半导体激光器的加工工艺兼容，制备工艺简单，单纵模且稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直腔面发射激光器 表面结构 增益介质 宽带反射镜 窄带反射镜 窄带 制备 半导体激光器 表面反射镜 受激辐射光 发光光谱 反射波长 基底材料 激光发射 上反射镜 外延生长 下反射镜 制备工艺 泵浦源 表结构 垂直腔 单纵模 反射谱 谐振腔 宽带 制作 紧凑 兼容 放大 垂直 | ||
【主权项】：
1.一种基于超表面结构的垂直腔面发射激光器，其特征在于，包括：增益介质、位于所述增益介质下表面的宽带反射镜及位于所述增益介质上表面的窄带反射镜；/n其中，所述宽带反射镜的反射谱、所述增益介质的发光光谱和所述窄带反射镜的反射谱三者具备重叠关系；/n所述窄带反射镜的表面为具有亚波长、无衍射效应的周期性结构的超表面结构；/n所述窄带反射镜与所述宽带反射镜形成垂直谐振腔，以实现基于超表面结构的垂直腔面发射激光器；/n所述窄带反射镜通过所述超表面结构的面内微谐振机制实现对目标波长的反射，非目标波长的透射，且所述窄带反射镜的反射波长范围与所述增益介质的发光波长及所述垂直腔面发射激光器的激射波长重叠。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华中科技大学，未经华中科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810838038.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
