[发明专利]集流量传感器为一体的可降气体流速的MEMS缓冲结构有效
| 申请号： | 201810841146.7 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN108982905B | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 董林玺;徐忠仁 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G01P5/00 | 分类号： | G01P5/00;G01P13/02;G01L1/00;G01N33/00 |
| 代理公司： | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 周希良 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集流量传感器为一体的可降气体流速的MEMS缓冲结构。本发明在流量传感器薄膜外围设有多个均匀分布的铂金属片，其用于气体检测流量；在两相邻的铂金属片之间有障碍物，所述的障碍物围绕集流量传感器薄膜也呈均匀分布，其高度大于铂金属片高度，用于降低气体的流速。本发明通过障碍物降低外界气体流过传感器薄膜的流速，减小了气体流动对加热器温度变化的影响，使得传感器的稳定性得到了提高，集成的流量传感器更好的反馈出了气体流过传感器薄膜时的流速。 | ||
| 搜索关键词： | 流量传感器 一体 降气 流速 mems 缓冲 结构 | ||
【主权项】：
1.集流量传感器为一体的可降气体流速的MEMS缓冲结构，其特征在于：在流量传感器薄膜外围设有多个均匀分布的铂金属片，其用于气体检测流量；在两相邻的铂金属片之间有障碍物，所述的障碍物围绕集流量传感器薄膜也呈均匀分布，其高度大于铂金属高度，用于降低气体的流速。
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