[发明专利]一种提高刻蚀机台上电极使用寿命的工艺方法有效
| 申请号： | 201810841354.7 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN108977864B | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 何新玉;司奇峰;王慧;赵浩 | 申请（专利权）人： | 芜湖通潮精密机械股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D11/04 | 分类号： | C25D11/04;C25D11/16;C23C4/134;C23C4/10 |
| 代理公司： | 34107 芜湖安汇知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王冰冰<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 241000安徽省芜湖市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高刻蚀机台上电极使用寿命的工艺方法，包括如下步骤：步骤一、对上电极的气孔周围遮蔽出喷砂空间，之后喷砂粗化处理；步骤二、去除遮蔽物及砂材杂质；步骤三、对上电极表面阳极氧化以形成阳极氧化膜；步骤四、对上电极的气孔周围遮蔽出喷涂空间，之后喷涂陶瓷涂层；步骤五、去除遮蔽物杂质，之后干燥处理。本发明能够有效提高上电极使用寿命，耐腐蚀性能越优异。 | ||
| 搜索关键词： | 电极使用寿命 刻蚀机 遮蔽物 电极 遮蔽 喷砂 去除 喷涂陶瓷涂层 耐腐蚀性能 阳极氧化膜 粗化处理 电极表面 干燥处理 喷涂空间 阳极氧化 砂材 | ||
【主权项】：
1.一种提高刻蚀机台上电极使用寿命的工艺方法，其特征在于，包括如下步骤：/n步骤一、对上电极的气孔周围遮蔽出喷砂空间，之后喷砂粗化处理；/n步骤二、去除遮蔽物及砂材杂质；/n步骤三、对上电极表面阳极氧化以形成阳极氧化膜；/n步骤四、对上电极的气孔周围遮蔽出喷涂空间，之后喷涂陶瓷涂层；/n步骤五、去除遮蔽物杂质，之后干燥处理；/n所述步骤四中喷涂陶瓷层是先通过等离子喷涂底层陶瓷层，之后再通过悬浮液等离子喷涂顶层陶瓷层；/n所述等离子喷涂底层陶瓷层使用的陶瓷粉末为YAG、Y2O3、YF3和YOF中的一种或多种混合粉末，粒度为10～60μm，喷涂工艺参数为：主气Ar流量30～50L/min，次气H2流量4～10L/min，电压58～62V，电流500～600A，送粉量10～20g/min，喷涂距离100～150mm，喷涂5～10个来回，每喷涂1～2个来回使用氮气或压缩空气从背部垂直上电极表面吹扫气孔2～4遍，去除气孔内壁残留粉末，气体压力为0.5～0.8MPa，底层陶瓷层厚度30～80μm，涂层粗糙度为Ra4～8μm，涂层孔隙率3％～6％。/n
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