[发明专利]一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构有效
| 申请号： | 201810841491.0 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN108953177B | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 孙坤;张世伟;李海涛;张志军;韩进;李雅洁 | 申请（专利权）人： | 东北大学 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/42 |
| 代理公司： | 沈阳东大知识产权代理有限公司 21109 | 代理人： | 梁焱 |
| 地址： | 110819 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构，不仅适用于大口径涡轮分子泵与小口径真空管道过渡连接，还可直接应用到涡轮分子泵入口结构，将涡轮分子泵泵入口直接过渡到小口径形式，可直接与小口径真空管道相连，与未采用本发明过渡结构的涡轮分子泵相比，可将抽气速率进一步提升5％左右。当作为大口径涡轮分子泵与小口径真空管道转接结构时，包括圆弧过渡段、小口径法兰、大口径法兰及锥形端盖反射屏，圆弧过渡段小径端与小口径法兰相固连，圆弧过渡段大径端与大口径法兰相固连。当作为涡轮分子泵入口结构时，包括圆弧过渡段、小口径法兰及锥形端盖反射屏，圆弧过渡段小径端与小口径法兰相固连，圆弧过渡段大径端与涡轮分子泵入口端壳体相固连。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 提高 涡轮 分子 泵抽气 速率 过渡 结构 | ||
【主权项】：
1.一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构，其特征在于：作为大口径涡轮分子泵与小口径真空管道的转接结构，包括圆弧过渡段、小口径法兰、大口径法兰及锥形端盖反射屏，圆弧过渡段的小径端与小口径法兰相固连，圆弧过渡段的大径端与大口径法兰相固连；所述小口径法兰与真空管道的管口法兰密封配合接连，大口径法兰与涡轮分子泵的入口法兰密封配合接连；所述锥形端盖反射屏通过支撑杆固定在大口径法兰上，锥形端盖反射屏的尖端朝向圆弧过渡段的小径端，锥形端盖反射屏的底口直径与涡轮分子泵的转子涡轮端盖直径相同，锥形端盖反射屏的底面与大口径法兰的外端面平齐。
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