[发明专利]带有对准装置的线宽压窄模块及准分子激光器在审
| 申请号： | 201810842600.0 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN108963727A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 王倩;李少华;赵江山;周翊;吴劲松;辛茗;江锐;杨军红 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/00 | 分类号： | H01S3/00;G02B7/00;G02B27/42;G02B27/09 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 100000 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带有对准装置的线宽压窄模块，包括可见光激光器，用于产生可见激光；棱镜组，用于将所述可见激光进行反射，产生反射可见激光；角度调节装置，用于调节所述线宽压窄模块的角度，使所述反射可见激光与放电腔的光轴同轴，并穿过所述放电腔被输出耦合镜垂直反射按原路返回，以完成所述线宽压窄模块与所述放电腔的对准。此外，还提供一种准分子激光器及线宽压窄模块与放电腔对准的方法以及准分子激光器。本发明可实现线宽压窄模块的快速安装与更换，在保证光谱输出特性的条件下实现最大能量输出。 | ||
| 搜索关键词： | 线宽 可见激光 放电腔 准分子激光器 反射 对准装置 对准 角度调节装置 可见光激光器 输出耦合镜 垂直反射 光谱输出 快速安装 原路返回 最大能量 棱镜组 光轴 同轴 穿过 输出 保证 | ||
【主权项】：
1.一种带有对准装置的线宽压窄模块，其特征在于，包括：可见光激光器，用于产生可见激光；棱镜组，用于将所述可见激光进行反射，产生反射可见激光；角度调节装置，用于调节所述线宽压窄模块的角度，使所述反射可见激光与放电腔的光轴同轴，并穿过所述放电腔被输出耦合镜垂直反射按原路返回，以完成所述线宽压窄模块与所述放电腔的对准。
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