[发明专利]BPMA的分区聚焦测量方法有效
| 申请号： | 201810842815.2 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN109100382B | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 应平;周俊武;罗仙平;赵建军;王清;王庆凯;温利刚;贾木欣 | 申请（专利权）人： | 北京矿冶科技集团有限公司;西部矿业集团科技发展有限公司;青海西部矿业工程技术研究有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2202 | 分类号： | G01N23/2202 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;赵镇勇 |
| 地址： | 100160 北京市丰台区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种BPMA的分区聚焦测量方法，在样品有效测量范围划分出9个或21个分区，分别在每个分区的中心分别聚焦，记录每个分区的电镜条件；聚焦完成后，BPMA软件开始样品测量，根据不同分区的不同的电镜条件依次测量每分区，所述电镜条件包括电镜的工作距离；多个分区测量均完成后，保存一个测量数据文件。采用在一个样品的测量面上分区聚焦测量的方法解决样品轻度倾斜的问题。 | ||
| 搜索关键词： | bpma 分区 聚焦 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种BPMA的分区聚焦测量方法，其特征在于，包括：在样品有效测量范围划分出多个分区，分别在每个分区的中心分别聚焦，记录每个分区的电镜条件；聚焦完成后，BPMA软件开始样品测量，根据不同分区的不同的电镜条件依次测量每分区，所述电镜条件包括电镜的工作距离；多个分区测量均完成后，保存一个测量数据文件。
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