[发明专利]感光性树脂组合物、干膜、固化物、印刷电路板及半导体元件在审
申请号: | 201810843721.7 | 申请日: | 2018-07-27 |
公开(公告)号: | CN109324481A | 公开(公告)日: | 2019-02-12 |
发明(设计)人: | 许成强;秋元真步 | 申请(专利权)人: | 太阳控股株式会社 |
主分类号: | G03F7/039 | 分类号: | G03F7/039;G03F7/004;C08G73/22 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供进行了金属覆盖的基板上的厚感光膜(例如,5μm以上)的显影性特别优异、并且分辨率也优异、显影后的图案形状良好的感光性树脂组合物、具有由该组合物得到的树脂层的干膜、该组合物或该干膜的树脂层的固化物、具有该固化物的印刷电路板及半导体元件。一种感光性树脂组合物、使用其的干膜、固化物、印刷电路板及半导体元件,所述感光性树脂组合物含有:(A)聚苯并恶唑前体、(B)感光剂、(C)硫醇化合物、及(D)尿素化合物及三聚氰胺系化合物中的至少任一种。 | ||
搜索关键词: | 感光性树脂组合物 固化物 干膜 半导体元件 印刷电路板 树脂层 三聚氰胺系化合物 硫醇化合物 尿素化合物 图案形状 感光剂 感光膜 显影性 分辨率 恶唑 基板 聚苯 前体 显影 金属 覆盖 | ||
【主权项】:
1.一种感光性树脂组合物,其特征在于,含有:(A)聚苯并恶唑前体、(B)感光剂、(C)硫醇化合物、以及(D)尿素化合物及三聚氰胺系化合物中的至少任一种。
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