[发明专利]飞秒激光加工装置及其加工的1x8脊型光分路器在审
| 申请号： | 201810843860.X | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN108941925A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 陶青;卢博闻;刘顿;陈列;娄德元;杨奇彪;翟中生;郑重;成健 | 申请（专利权）人： | 湖北工业大学 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/0622;B23K26/06;B23K26/03;B23K26/142;B23K103/00 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 郑勤振 |
| 地址： | 430068 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及飞秒激光加工装置及其加工的1x8脊型光分路器，利用飞秒激光加工装置加工光器件时，飞秒脉冲激光光束依次经过半波片、反射镜、显微物镜后聚焦到固定于六自由度工作平台上的基底材料，聚焦后的飞秒脉冲激光光束在六自由度工作平台的运动过程中将基底材料光刻成光器件，在光刻过程中利用吹气部和吸气部之间的气流进行除尘。本发明装置结构简单，利用本发明装置加工的光器件加工成本低、精度高、一致性好。 | ||
| 搜索关键词： | 飞秒激光加工装置 光器件 加工 飞秒脉冲激光 工作平台 光分路器 基底材料 六自由度 脊型 聚焦 发明装置结构 吸气 光刻过程 显微物镜 一致性好 运动过程 半波片 吹气部 反射镜 除尘 光刻 | ||
【主权项】：
1.一种飞秒激光加工装置，其特征在于，包括：发出飞秒脉冲激光光束的飞秒激光器(10)；接收并反射所述飞秒脉冲激光光束的反射镜(12)；接收来自所述反射镜(12)的飞秒脉冲激光光束、并对所述飞秒脉冲激光光束进行聚焦的显微物镜(13)；六自由度工作平台(15)，具有放置基底材料(16)的加工区，所述聚焦后的飞秒脉冲激光光束在六自由度工作平台(15)的运动过程中将基底材料(16)光刻成光器件；对所述加工区域进行吹气的吹气部(14)；对所述吹气部(14)吹送来的气体进行吸除的吸气部(17)；监测所述基底材料(16)形貌的CCD相机(18)；以及计算机(19)，所述计算机(19)根据所要加工成的光器件的形状结构控制所述六自由度工作平台(15)运动，并将CCD相机(18)采集的图像与光器件设计形貌进行对比，实时调节飞秒激光器(10)的功率、发出的激光光斑大小以及所述六自由度工作平台(15)与所述显微物镜(13)的距离，将表面形貌误差控制在一定的范围内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖北工业大学，未经湖北工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810843860.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
