[发明专利]张网机台有效
申请号: | 201810844271.3 | 申请日: | 2018-07-27 |
公开(公告)号: | CN109494312B | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
发明(设计)人: | 郭登俊;王永茂;张文畅;马超;万宝红;李文启 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 阚梓瑄;王卫忠 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本公开提出一种张网机台。张网机台包括本体,本体具有一承载表面。其中,张网机台还包括多个凹槽以及多个气浮球。多个凹槽开设于本体的承载表面,凹槽的槽底开设有气孔,凹槽通过气孔连通于气浮机构。多个气浮球分别容置于多个凹槽中,且气浮球的一部分由凹槽的槽口露出于承载表面。其中,凹槽的槽腔尺寸大于气浮球的直径;其中,掩膜框架承载于多个气浮球上,气浮球被配置为在气浮机构通过气孔向凹槽内吹气时浮起。 | ||
搜索关键词: | 机台 | ||
【主权项】:
1.一种张网机台,用以承载掩膜框架,所述张网机台包括本体,所述本体具有一承载表面,其特征在于,所述张网机台还包括:多个凹槽,开设于所述本体的所述承载表面,所述凹槽的槽底开设有气孔,所述凹槽通过所述气孔连通于气浮机构;以及多个气浮球,分别容置于多个所述凹槽中,且所述气浮球的一部分由所述凹槽的槽口露出于所述承载表面;其中,所述凹槽的槽腔尺寸大于所述气浮球的直径;其中,所述掩膜框架承载于多个所述气浮球上,所述气浮球被配置为在所述气浮机构通过所述气孔向所述凹槽内吹气时浮起。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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