[发明专利]一种发光装置、光学检测系统和光学检测方法在审
申请号: | 201810846138.1 | 申请日: | 2018-07-27 |
公开(公告)号: | CN108917625A | 公开(公告)日: | 2018-11-30 |
发明(设计)人: | 陈鲁;杨乐;马砚忠;张朝前 | 申请(专利权)人: | 深圳中科飞测科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06;G01B11/24 |
代理公司: | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人: | 王仲凯 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种发光装置、光学检测系统和光学检测方法,包括光源、位于所述光源出射光路上的孔径限制单元;所述光源用于发出光线;所述孔径限制单元用于在待测物的当前检测区域具有高深宽比结构时,对所述光源发出的光线的口径进行限制,以阻挡与所述待测物的法线方向夹角较大的部分光线,使光沿所述待测物的法线方向或与所述待测物的法线方向成小角度的方向入射到所述待测物的当前检测区域,从而可以对当前检测区域的高深宽比结构进行有效检测。 | ||
搜索关键词: | 待测物 光源 法线方向 检测区域 光学检测系统 发光装置 高深宽比 光学检测 孔径限制 有效检测 出射光 入射 口径 阻挡 | ||
【主权项】:
1.一种发光装置,其特征在于,包括光源和位于所述光源出射光路上的孔径限制单元;所述光源用于发出光线;所述孔径限制单元用于在待测物的当前检测区域具有高深宽比结构时,对所述光源发出的光线的口径进行限制,以阻挡与所述待测物的法线方向夹角较大的部分光线。
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