[发明专利]一种批量化制造大面积微纳米结构的装置及其工作方法

摘要

本发明公开了一种批量化制造大面积微纳米结构的装置及其工作方法，其提高了压印图形的精度和质量，同时也提高了微纳米压印设备的效率、可靠性和模具的使用寿命，其技术方案为：包括底板，所述底板固定设置垂直的导向杆，导向杆顶部与顶板固定连接，导向杆中部穿设有支撑板，驱动装置与支撑板连接带动支撑板上下移动，驱动装置和支撑板之间设有压力检测模块；所述支撑板底部由前至后依次连接有辅助压印模块、主压印模块、固化模块，所述辅助压印模块包括压印辊轮，压印辊轮中部穿设辊轮轴，辊轮轴两端与压印辊轮连接架连接，压印辊轮连接架顶部通过辅助压印模块导向杆与往复移动机构连接，往复移动机构可带动压印辊轮上下移动。

主权项

1.一种批量化制造大面积微纳米结构的装置，其特征是，包括底板，所述底板固定设置垂直的导向杆，导向杆顶部与顶板固定连接，导向杆中部穿设有支撑板，驱动装置与支撑板连接带动支撑板上下移动，驱动装置和支撑板之间设有压力检测模块；所述底板固定设置第一滑轨，第一滑轨与工作台滑动连接，工作台与真空吸附平台固定连接；所述支撑板底部由前至后依次连接有辅助压印模块、主压印模块、固化模块，所述辅助压印模块包括压印辊轮，压印辊轮中部穿设辊轮轴，辊轮轴两端与压印辊轮连接架连接，压印辊轮连接架顶部通过辅助压印模块导向杆与往复移动机构连接，往复移动机构可带动压印辊轮上下移动；所述往复移动机构包括丝杠传动机构，丝杠传动机构与第一动力装置连接；所述丝杠传动机构包括丝杠，丝杠顶部与第一动力装置连接，丝杠两侧设置第二滑轨，丝杠与第二滑轨上套设滑块，滑块底部与辅助压印模块导向杆连接。