[发明专利]声表面波器件及其制作方法有效
| 申请号： | 201810851088.6 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN109039298B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 彭波华;李平;胡念楚;贾斌 | 申请（专利权）人： | 开元通信技术（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H01L41/18;H01L41/09 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 361026 福建省厦门市海*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种声表面波器件及其制作方法；其中，该声表面波器件，包括：一压电衬底，具有多个不同的欧拉切角；以及一个或多个叉指换能器(IDT)，形成于所述压电衬底的表面，用于激发在所述压电衬底上形成的表面声波。本公开在同一片衬底上形成多个不同欧拉切角，从而满足不同频段、不同带宽的滤波器的需求，有效降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 器件 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种声表面波器件，包括：一压电衬底，具有多个不同的欧拉切角；以及一个或多个叉指换能器(IDT)，形成于所述压电衬底的表面，用于激发在所述压电衬底上形成的表面声波。
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