[发明专利]一种扫描式UVLED曝光机及其扫描方法在审
| 申请号： | 201810857588.0 | 申请日： | 2018-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN108732872A | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 杜春雷;夏良平;王乡;陈苗 | 申请（专利权）人： | 珠海迈时光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市香洲区南屏*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供的扫描式UVLED曝光机及其扫描方法，UVLED扫描光源单元用于出射光束；线阵CCD光源探测单元设置于所述UVLED扫描光源单元的出光面，线阵CCD光源探测单元用于扫描所述UVLED扫描光源单元出射的光束及探测光束的近场光强，并将近场光强反馈至所述UVLED光源控制单元；所述UVLED光源控制单元获取所述近场光强分布并根据所述近场光强对所述UVLED扫描光源单元的电源进行控制，保证UVLED扫描光源单元的电源稳定，以使所述UVLED扫描光源单元出射的光束在曝光面均匀分布，从而可以实现在生产作业间歇期对光源均匀性进行快速检测与调整，降低光源维护与调整的难度并提高生产效率和良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描光源 近场光 光源控制单元 光源探测 扫描 线阵CCD 曝光机 扫描式 出射 光源均匀性 出射光束 单元设置 电源稳定 快速检测 生产效率 生产作业 探测光束 出光面 间歇期 良品率 曝光面 场光 光源 电源 反馈 保证 维护 | ||
【主权项】：
1.一种扫描式UVLED曝光机，其特征在于，包括：UVLED扫描光源单元、电性连接所述UVLED扫描光源单元的线阵CCD光源探测单元及电性连接所述UVLED扫描光源单元的UVLED光源控制单元，其中：所述UVLED扫描光源单元用于出射光束；所述线阵CCD光源探测单元设置于所述UVLED扫描光源单元的出光面，所述线阵CCD光源探测单元用于扫描所述UVLED扫描光源单元出射的光束，及探测所述光束的近场光强，并将所述近场光强反馈至所述UVLED光源控制单元；所述UVLED光源控制单元获取所述近场光强分布并根据所述近场光强对所述UVLED扫描光源单元的电源进行控制，保证UVLED扫描光源单元的电源稳定，以使所述UVLED扫描光源单元出射的光束在曝光面均匀分布。
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