[发明专利]一种用于半导体厂房的酸碱性排气的洗涤塔在审

专利信息
申请号: 201810858659.9 申请日: 2018-07-31
公开(公告)号: CN108905532A 公开(公告)日: 2018-11-30
发明(设计)人: 张宇 申请(专利权)人: 太仓市宇格明叶环保设备有限公司
主分类号: B01D53/18 分类号: B01D53/18
代理公司: 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙) 32267 代理人: 冯文俊
地址: 215400 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供一种用于半导体厂房的酸碱性排气的洗涤塔,其对洗涤塔形成内部气体循环,降低废气流速,增加废气形成,从而提高废气吸收效率,在投资较低情况下避免洗涤塔总负荷达标但因局部废气吸收较差带来的废气外排。
搜索关键词: 洗涤塔 半导体厂房 废气吸收 酸碱性 排气 内部气体循环 废气流速 废气外排 总负荷 废气 达标 投资
【主权项】:
1.一种用于半导体厂房的酸碱性排气的洗涤塔,其特征在于,包括洗涤塔本体、喷淋系统及回风系统,所述洗涤塔本体包括废气入口(1)、废气出口(2)及塔身(3),所述废气入口(1)设置于塔身(3)左侧、所述废气出口(2)设置于塔身(3)右侧,所述喷淋系统包括喷头(4)、供液管(5)及供液泵(6),所述喷头(4)设置于塔身(3)顶部,所述供液泵(6)设置于塔身(3)外部,所述供液管(5)分别与喷头(4)及供液泵(6)连接,所述回风系统包括风管(7)及风机(8),所述风管(7)一端与塔身(3)顶部右侧连接、另一端与废气入口(1)顶部连接,所述风机(8)设置于风管(7)中段。
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