[发明专利]一种RPD用多元导电氧化物材料及其制备方法有效
| 申请号： | 201810859556.4 | 申请日： | 2018-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN108914065B | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 黄信二 | 申请（专利权）人： | 研创应用材料（赣州）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/08 |
| 代理公司： | 南昌金轩知识产权代理有限公司 36129 | 代理人： | 张文宣 |
| 地址： | 341000 江西省赣州市*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明的一种RPD用多元导电氧化物材料及其制备方法，往氧化铟中添加氧化钛和第三种氧化物，通过注浆成型的方法制备多元氧化物的陶瓷胚体，经过高温烧结及加工后得到成型的多元导电氧化物块材，然后将块材放入RPD设备的坩埚中，以康宁玻璃为样品基板，以氩气和氧气为工作气体，控制蒸镀腔体的工作压力，启动电源镀制得到透明导电多元氧化物薄膜，本发明通过在氧化铟材料中添加两种氧化物元素，并且首次使用注浆成型加高温烧结的方式来制作这种镀膜材料，提高了薄膜的质量及性能；使用RPD的方式来制作导电多元氧化物薄膜，满足了大规模量产的要求；采用本发明的方案所制得的多元导电氧化物薄膜具有高透光及高导电性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 rpd 多元 导电 氧化物 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种新型RPD用多元导电氧化物材料，其特征在于：包括以下成分：氧化铟94‑99.4wt％，氧化钛0.5‑5wt％，第三种氧化物0.1‑1.0wt％。
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