[发明专利]单片相变散热装置有效
| 申请号： | 201810861688.0 | 申请日： | 2018-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN109326573B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 陈宝兴;W·A·拉尼;M·T·邓纳姆 | 申请（专利权）人： | 亚德诺半导体国际无限责任公司 |
| 主分类号： | H01L23/427 | 分类号： | H01L23/427;B81B7/02 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 欧阳帆 |
| 地址： | 爱尔兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及单片相变散热装置。单片蒸汽室散热装置使用相变液体和一个或多个芯体来散发来自发热系统的热量。相变液体和一个或多个芯体可以直接耦合到发热系统，或者可以耦合到中间蒸发器基板。相变液体蒸发，因为它从发热系统吸收热量。当蒸汽上升并遇到冷凝器基板时，蒸汽冷凝并将热量传递给冷凝器基板。冷凝的蒸汽通过重力和一个或多个芯体被吸引到与发热系统耦合的相变液体。 | ||
| 搜索关键词： | 单片 相变 散热 装置 | ||
【主权项】：
1.包括蒸汽室的单片微机电(MEMS)装置，所述装置包括：冷凝器基板；装置基板，具有装置表面和后表面，其中所述蒸汽室被封装在所述冷凝器基板以及所述装置基板的装置表面或后表面之一之间，其中所述冷凝器基板具有与所述装置基板大致相同的占用空间；和延伸到所述蒸汽室中的一个或多个芯体。
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