[发明专利]加工装置以及加工方法有效
| 申请号： | 201810862652.4 | 申请日： | 2018-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN109420979B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 藤原直己;黄善夏 | 申请（专利权）人： | 东和株式会社 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06;B24B7/10;H01L21/304;B26D1/12 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明是一种抑制工件磨削量的不均的加工装置以及加工方法。加工装置是对工件(2)进行加工的加工装置，其包括载置工件(2)的平台(4)、对工件(2)进行磨削的磨削机构(8)、以及对工件(2)的工件厚度方向上的至少工件(2)的一部分的位置进行测定的测定机构(19)，磨削机构(8)具有磨削砂轮(10)，基于由测定机构(19)所测定的测定值，来控制磨削砂轮在工件厚度方向上的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种加工装置，其对工件进行加工，所述加工装置的特征在于，包括：平台，载置所述工件；磨削机构，对所述工件进行磨削；以及测定机构，对所述工件的所述工件厚度方向上的至少所述工件的一部分的位置进行测定，所述磨削机构具有磨削砂轮，基于由所述测定机构所测定出的测定值，来控制所述磨削砂轮在所述工件厚度方向上的位置。
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