[发明专利]一种防着板切换溅镀机构在审
| 申请号： | 201810863311.9 | 申请日： | 2018-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN108728805A | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 孙建忠 | 申请（专利权）人： | 苏州康普雷森精密机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人： | 于浩江 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种防着板切换溅镀机构，包含机架，机架内设有溅镀源、输送台和工作台，工作台设置在输送台上，溅镀源设置在工作台的上方，输送台的两侧均设置有防着板组件；所述防着板组件包含防着板、旋转支架和托架；所述防着板沿竖向设置，防着板的上下两侧均设置有弯折部，两侧的弯折部相互对称；所述旋转支架水平设置，旋转支架与防着板的后侧配合；所述托架设置在防着板的下侧，托架与下侧的弯折部配合；由于飞溅出的靶材大多沉积在防着板的中下部，因此，长时间使用后，可沿旋转支架将防着板上下换位，使防着板上下都可以较为均匀的接受靶材，减少防着板拆换清理的频率，从而降低了成本，节省了人力。 | ||
| 搜索关键词： | 防着板 旋转支架 弯折部 工作台 托架 溅镀源 输送台 靶材 溅镀 上下两侧 竖向设置 水平设置 飞溅 拆换 沉积 对称 换位 配合 | ||
【主权项】：
1.一种防着板切换溅镀机构，包含机架，机架内设有溅镀源（1）、输送台（2）和工作台（3），工作台（3）设置在输送台（2）上，溅镀源（1）设置在工作台（3）的上方，输送台（2）的两侧均设置有防着板组件；其特征在于：所述防着板组件包含防着板（11）、旋转支架（12）和托架（13）；所述防着板（11）沿竖向设置，防着板（11）的上下两侧均设置有弯折部（14），两侧的弯折部（14）相互对称；所述旋转支架（12）水平设置，旋转支架（12）与防着板（11）的后侧配合；所述托架（13）设置在防着板（11）的下侧，托架（13）与下侧的弯折部（14）配合。
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