[发明专利]一种超高分辨率含氟含氧嵌段共聚物及其制备方法与应用有效
申请号: | 201810863466.2 | 申请日: | 2018-08-01 |
公开(公告)号: | CN109251283B | 公开(公告)日: | 2021-07-13 |
发明(设计)人: | 邓海;王晨旭;李志龙 | 申请(专利权)人: | 复旦大学 |
主分类号: | C08F293/00 | 分类号: | C08F293/00;C08F8/12;C08F297/02;C08F212/14;C08F220/24;C08F220/28 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 俞梁清 |
地址: | 200433 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种超高分辨率含氟含氧嵌段共聚物,所述超高分辨率含氟含氧嵌段共聚物的前体中至少包括嵌段A和嵌段B,所述嵌段A的单体选自以下化合物:烃氧基取代的苯乙烯类化合物、乙烯基酚酯类化合物、芳基中含有酯基的甲基丙烯酸酚酯或丙烯酸酚酯类化合物;所述嵌段B的单体选自以下化合物:含氟甲基丙烯酸酯类化合物、含氟苯乙烯类化合物,其中,所述嵌段A或嵌段B的单体中的取代为邻、间或对单取代或多取代。与现有技术相比,该超高分辨率含氟含氧嵌段共聚物可在低温下快速组装,并具有潜在的自修复性能,以降低缺陷率,从而提高其抗刻蚀的能力。 | ||
搜索关键词: | 一种 超高 分辨率 含氟含氧嵌段 共聚物 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
1.一种超高分辨率含氟含氧嵌段共聚物前体,其特征在于:所述超高分辨率含氟含氧嵌段共聚物前体中至少包括嵌段A和嵌段B,所述嵌段A的单体选自以下化合物:烃氧基取代的苯乙烯类化合物、乙烯基酚酯类化合物、芳基中含有酯基的甲基丙烯酸酚酯或丙烯酸酚酯类化合物;所述嵌段B的单体选自以下化合物:含氟甲基丙烯酸酯类化合物、含氟苯乙烯类化合物,其中,所述嵌段A或嵌段B的单体中的取代为邻、间或对单取代或多取代。
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