[发明专利]一种固态电解质阻变存储器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201810863849.X 申请日: 2018-08-01
公开(公告)号: CN109065711B 公开(公告)日: 2022-05-03
发明(设计)人: 闫小兵;裴逸菲;任德亮 申请(专利权)人: 河北大学
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00
代理公司: 石家庄国域专利商标事务所有限公司 13112 代理人: 孙丽红;胡澎
地址: 071002 河北*** 国省代码: 河北;13
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种固态电解质阻变存储器,其是在作为底电极的衬底上依次形成有PbS阻变介质层、Ga2O3阻变转换层,在Ga2O3阻变转换层上表面沉积有上电极层。同时本发明还公开了该阻变存储器的制备方法,该方法是将干燥洁净的衬底置于退火炉的托盘上,取PbS溶液滴加到衬底上,待溶液自动扩展并覆盖整个衬底表面后,进行退火处理,形成网络状的PbS阻变介质层;然后再依次溅射沉积Ga2O3阻变转换层和上电极层。本发明提供的阻变存储器添加了网络状PbS作为阻变存储器的介质层,对传统使用氧化物制备的存储器件在重复特性、保持特性、开启电压等方面起到了优化作用,其结构独特,性能表现良好,是一种存储性能佳、能耗低、应用前景更为广阔的阻变存储器。
搜索关键词: 一种 固态 电解质 存储器 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种固态电解质阻变存储器,其特征在于,其是在作为底电极的衬底上依次形成有PbS阻变介质层、Ga2O3阻变转换层,在Ga2O3阻变转换层上表面沉积有上电极层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河北大学,未经河北大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201810863849.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top